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基于激光差动共焦传感器的面形检测技术研究

一、引言

随着现代制造业和精密加工技术的快速发展，对产品表面形状的精确检测变得尤为重要。面形检测技术不仅在精密加工和测量领域发挥着重要作用，也在机器人视觉、无损检测、自动化生产等多个领域得到广泛应用。在众多面形检测技术中，激光差动共焦传感器因其高精度、高速度和低成本的特性备受关注。本文旨在探讨基于激光差动共焦传感器的面形检测技术研究，以进一步推动相关技术的实际应用和发展。

二、激光差动共焦传感器原理

激光差动共焦传感器是一种基于光学干涉原理的传感器，其工作原理是通过激光束的共焦技术，实现对物体表面形状的快速精确检测。传感器发出的激光束经过物体表面反射后