离子镀和离子束沉积.pptxVIP

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2025-07-19 发布于四川
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离子镀和离子束沉积.pptx

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*第七章离子镀和离子;离子镀概述*定义：离子镀是在真;过程：离子镀概述*真空度抽至1;离子镀概述*成膜条件：j：离子;离子镀方式*镀料的气化方式–;离子镀方式*气化分子或原子的离;离子轰击在离子镀中的作用*离化;对基片表面的作用（膜层沉积之前;离子轰击在离子镀中的作用*对薄;对薄膜生长的影响离子轰击在离子;典型的离子镀方式*活性反应离子;典型的离子镀方式*活性反应离子;典型的离子镀方式*空心阴极放电;典型的离子镀方式*多弧离子镀把;离子束沉积*离子束沉积法是利用;离子束沉积*离子束沉积方法分类;离子束沉积*直接引出式和质量分;离化团束沉积离子束沉积*膜层致;离子束沉积*离子束辅助沉积离子;*习题离子镀中采用的蒸发源和