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STI工艺步骤讲解.ppt

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    以下是以前工作留下的STI相关学习资料，整理了一下，仅供参考。你们在那家代工厂开发，得和具体工程师讨论。

    我很多年不做辐照效应了，也没查看相关资料，这方面你们是专家。我仅谈谈一些观点供参考。;STI技术;WhySTI？;STI主要工艺步骤;Padoxide ~110A

    SiN ~1600A

    STIdepth ~0.4um;lineroxide(trenchliner):

    ~200A

    ~1000CdryO2

    有些用SiO2/SiN复合层。;CMP后。

    有些加Oxide干刻蚀，目的为了整个硅片STIoxide高度一致。;阱注入、清洗等、、、

    栅氧化前。;Good

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