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CuAlO2薄膜的制备及传感性能的研究
摘要:
本文旨在研究CuAlO2薄膜的制备工艺及其在传感领域的应用性能。通过实验,我们成功制备了高质量的CuAlO2薄膜,并对其结构、形貌及传感性能进行了系统性的分析。本文详细描述了实验方法、结果及分析,以期为CuAlO2薄膜的进一步研究和应用提供有益的参考。
一、引言
随着科技的发展,薄膜材料在众多领域得到了广泛应用。CuAlO2作为一种具有独特性质的P型半导体氧化物材料,其在传感器、太阳能电池等领域具有潜在的应用价值。因此,研究CuAlO2薄膜的制备工艺及其传感性能具有重要的科学意义和实际应用价值。
二、CuAlO2薄膜的制备
本实验采用溶胶-凝胶法
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