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2025年半导体设备研发：前沿技术路线评估与选择报告.docx

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    2025年半导体设备研发：前沿技术路线评估与选择报告

    一、2025年半导体设备研发：前沿技术路线评估与选择报告

    1.1技术发展趋势分析

    1.1.1摩尔定律的放缓与技术创新

    1.1.2人工智能、大数据等新兴技术的融合

    1.1.3绿色环保与可持续发展

    1.2前沿技术路线评估

    1.2.1极紫外光（EUV）光刻技术

    1.2.2先进封装技术

    1.2.33D集成电路技术

    1.3技术路线选择与优化

    二、半导体设备研发中的关键技术创新

    2.1极紫外光（EUV）光刻技术的发展与应用

    2.1.1EUV光刻技术的原理与优势

    2.1.2我国EUV光刻技术的现状与挑战

    2.2先进封装技术的发展

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