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衍射光栅制备与性能研究
一、引言
衍射光栅作为一种重要的光学元件，在光学仪器、光谱分析、激光技术等领域具有广泛的应用。本文旨在探讨衍射光栅的制备工艺及其性能研究，为光栅的进一步应用提供理论依据和技术支持。
二、衍射光栅制备工艺
1.材料选择
衍射光栅的制备材料通常包括基底材料和光栅刻蚀材料。基底材料应具备较高的机械强度和稳定性，而光栅刻蚀材料应具有良好的刻蚀性能和光学性能。常用的基底材料有玻璃、硅片、金属薄膜等，而光栅刻蚀材料通常为金属薄膜。
2.制备流程
衍射光栅的制备流程主要包括基底处理、涂覆光栅刻蚀材料、曝光、显影、刻蚀等步骤。首先，对基底进行清洗和预处理，以提高其表面平整度和粘附性
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