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01特气在IC中的应用
02特气安全事故案例
目录CONTENTS
目录
CONTENTS
03特气使用安全风险
04特气安全使用要求
05特气事故应急处置
01特气在IC中的应用
4
术语
特种气体
specialtygas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、
剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
大宗特种气体
bulkspecialtygas
一般指单个气体设备容积大于400L的特
种气体。
气体纯度
gaspurity
5N纯度为99.999%，5.5N纯度为
99.99
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