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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN110783171B(45)授权公告日2025.01.07
(21)申请号201910694021.0
(22)申请日2019.07.30
(65)同一申请的已公布的文献号
申请公布号CN110783171A
(43)申请公布日2020.02.11
(30)优先权数据
62/711,8762018.07.30US(73)专利权人应用材料公司
地址美国加利福尼亚州(72)发明人黄奕樵仲华
(51)Int.CI
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