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    (10)授权公告号CN110783171B(45)授权公告日2025.01.07

    (21)申请号201910694021.0

    (22)申请日2019.07.30

    (65)同一申请的已公布的文献号

    申请公布号CN110783171A

    (43)申请公布日2020.02.11

    (30)优先权数据

    62/711,8762018.07.30US(73)专利权人应用材料公司

    地址美国加利福尼亚州(72)发明人黄奕樵仲华

    (51)Int.CI

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