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等离子体诊断.pptx

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    等离子体诊断;目录;01;;通过测量等离子体参量，了解等离子体的物理特性和状态，为等离子体应用提供基础数据。;等离子体诊断的历史与发展;02;光谱诊断法;通过测量等离子体中的电位分布和电流密度，了解等离子体的电性质，如等离子体密度、电子温度和碰撞频率等。;激光诊断法;03;;利用等离子体刻蚀、沉积等工艺在半导体材料上制造微纳结构，等离子体

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