DB13_T 6137-2025 高纯六氟化钨中杂质的检测.docxVIP

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CCSG15

DB13

河北省地方标准

DB13/T6137—2025

高纯六氟化钨中杂质的检测

2025-06-03实施2025-05-27发布

2025-06-03实施

河北省市场监督管理局发布

I

DB13/T6137—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由邯郸市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司。

本文件主要起草人：马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、李帅楠。

DB13/T6137—2025

1

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高纯六氟化钨中杂质的检测

1范围

本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32386-2015电子工业用气体六氟化钨

GB/T6040-2019红外光谱分析方法通则国家标准

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4样品

电子工业用六氟化钨样品质量应符合表1的要求。

表1电子工业用六氟化钨技术指标

项目

指标

六氟化钨(WF?)纯度，102(体积分数)≥

99.999

99.9995

99.9999

(氧+氩)(O?+Ar)含量，10?(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

氮(N2)含量，10?(体积分数)≤

1

0.5

0.1

一氧化碳(CO)含量，10?(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

二氧化碳(CO?)含量，10?(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

四氟化碳(CF?)含量，10?(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

六氟化硫(SF?)含量，10??(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

四氟化硅(SiF?),含量10?(体积分数)≤

0.5

0.5

0.1

氟化氢(HF)含量，10?(体积分数)≤

5

1

0.3

金属元素含量

钼(Mo)含量，(μg/L)≤

100

10

10

铁(Fe)含量，(μg/L)≤

20

10

5

钾(K)含量，(μg/L)≤

5

5

5

钠(Na)含量，(μg/L)≤

5

5

5

铬(Cr)含量，(μg/L)≤

10

10

5

钍(Th)含量，(μg/L)≤

0.1

0.1

0.1

铀(U)含量，(μg/L)≤

0.05

0.05

0.05

钴(Co)含量，(μg/L)≤

10

10

5

锰(Mn)含量，(μg/L)≤

10

10

5

铅(Pb)含量，(μg/L)≤

10

10

5

2

DB13/T6137—2025

表1电子工业用六氟化钨技术指标(续)

项目

指标

金属元素含量

锌(Zn)含量，(μg/L)≤

10

10

5

钙(Ca)含量，(μg/L)≤

5

5

5

镁(Mg)含量，(μg/L)≤

10

10

5

镍(Ni)含量，(μg/L)≤

20

20

10

铜(Cu)含量，(μg/L)≤

5

5

5

铝(A1)含量，(μg/L)≤

10

10

5

砷(As)含量，(ug/L)≤

10

10

5

硼(B)含量，(μg/L)≤

10

10

5

镉(Cd)含量，(μg/L)≤

2

2

2

钛(Ti)含量，(μg/L)≤

10

10

5

锂(Li)含量，(μg/L)≤

10

10

5

硅(Si)含量，(μg/L)≤

10

10

5

磷(P)含量，(μg/L)≤

2

2

2

5氧气+氩气、氮气、一氧化碳、四