DB13_T 6140-2025 碳酰氟中杂质的测定.docxVIP

ICS71.040.40

CCSG15

DB13

河北省地方标准

DB13/T6140—2025

碳酰氟中杂质的测定

2025-06-03实施2025-05-27发布

2025-06-03实施

河北省市场监督管理局发布

Q/LB.□XXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由邯郸市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司。

本文件主要起草人：倪珊珊、郑秋艳、崔雯、苏子杰、滕莹、魏晓娟、王蒙蒙、张露露。

DB13/T6140—2025

碳酰氟中杂质的测定

1范围

本文件规定了电子工业用气体碳酰氟中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体碳酰氟中氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮和氟化氢的测定。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32386-2015电子工业用气体六氟化钨

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4样品

碳酰氟样品质量应符合表1的要求。

表1碳酰氟的技术指标

项目

技术指标

氢气(H?)含量(体积分数),10?

≤30

氧气+氩气(O?+Ar)含量(体积分数),10??

≤30

氮气(N?)含量(体积分数),10?

≤30

一氧化碳(CO)含量(体积分数),10?

≤30

二氧化碳(CO?)含量(体积分数),10??

≤600

四氟化碳(CF4)含量(体积分数),10?

≤50

三氟化氮(NF?)含量(体积分数),10?

≤50

氧化亚氮(N?O)含量(体积分数),10?

≤30

氟化氢(HF)含量(体积分数),10??

≤150

5氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮的测定

5.1原理

采用气路切换装置的氦离子化检测器的气相色谱仪(GB/T28726)对各组分分析。当样品气体经色谱柱分离后进入氦离子化检测器时，与亚稳态的氦发生非弹性碰撞而电离，在检测器的收集极输出相应的微电流，微电流经放大器放大后的电流讯号在一定范围内与组分含量成正比。将样品气体的色谱峰与标准气体进行比较，根据保留时间定性，讯号大小定量，从而测定样品气体中各组分的含量。

5.2试剂或材料

载气：高纯氦气，纯度≥99.999×10?2(体积分数);

工

2

DB13/T6140—2025

标准气体：

氦中氢气标准气体：含量为5×10-?(体积分数);

氦中氧气+氩气标准气体：含量为5×10-6(体积分数);

氦中氮气标准气体：含量为5×10-?(体积分数);

氦中一氧化碳标准气体：含量为5×10-6(体积分数);

氦中二氧化碳标准气体：含量为5×10-?(体积分数);

氦中四氟化碳标准气体：含量为5×10-6(体积分数);

氦中三氟化氮标准气体：含量为5×10-6(体积分数);

氦中氧化亚氮标准气体：含量为5×10-6(体积分数);

5.3仪器设备

采用配备气路切换装置和氦离子化检测器(PDHID)的气相色谱仪，仪器对氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮含量测定的检测限不大于0.01×10?(体积分数)。

a)色谱柱

预分离柱：长3.0m,内径3.2mm,内部装填颗粒度为(60～80)目的10%的KelF的红色硅藻土填料的镍色谱柱或其他等效色谱柱；

色谱柱1:长3.0m,内径3.2mm,内部装填颗粒度为(60～80)目的13X分子筛不锈钢色谱柱或其他等效色谱柱，该柱用于测定氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳的含量。

色谱柱2:长3.0m,内径3.2mm,内部装填颗粒度为(60～80)目的HAYESEPQ不锈钢色谱柱或其他等效色谱柱；该柱用于测定二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮的含量。

b)仪器气路分析流程见附录A。

5.4测定步骤

5.4.1测定前准备

按GB/T28726的要求启动仪器，并严格试漏，以保证管路气密性。调整仪器各部件达到测定条件，待仪