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扫描电子显微术Scanning;电子显微的一个粗略年表1930;SEM的历史1938年Ard;第一个扫描电镜装置剑桥大学,1;第一台商用扫描电镜;HighResolution;SEMimageshave;Andnowalook;SEM的构造气动保险阀;扫描线圈;Signalsavailab;Signals;SEM的主要性能:1,分辨率二;SEM分辨率的测定方法:在已知;Whentheoretica;Alwaysconsider;扫描电子显微术:例子Thee;Specimen:Toner;Specimen:Evapo;Specimen:Filte;Fig.6Specimen;Specimen:Paint;SE(secondarye;二次电子:在入射电子作用下被;成像原理二次电子产额对微区表面;根据上述原理画出二次电子形貌衬;实际样品中二次电子的激发过程示;Edgeeffect(se;SpecimenICchi;Specimen:ICch;Specimen:Back;Useofspecimen;Specimen:Fiber;Backscatterede;背散射电子:背散射电子是指被固;RetractableBSE;ObjectivelensBS;BSEfromadjace;SEMComposition;1?背散射电子的衬度原理及应;2.BE原子序数衬度原理原子;Thebackscatter;SEversuBSEim;.6.2吸收电子成像的衬度原;Thegeneration;Influenceofch;Specimendamage;ContaminationWh;电子探针显微分析;X-rayMicroanal;能谱仪成分分析的特点:优点:1;电子探针的主要功能就是进行微区;EPMA的结构和工作原理:电子;6.2.2能量分散谱仪(能谱;X-rayMicroanal;能谱仪成分分析的特点:优点:1;250cpsFullScal;波谱仪1)已知电子束入射样品;解决的办法是:把分光晶体作适当;点分析定性分析;线分析;面分析;无标题;无标题;无标题;micronMapsSEMX
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