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光刻工艺培训.pptx

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    光刻工艺培训;CATALOGUE;01;光刻工艺是利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。;光刻工艺在半导体制造中的地位;光刻工艺的发展历程;02;;通过优化投影物镜的设计，提高光学系统的分辨率和成像质量，保证光刻图形的精确度和稳定性。;光刻胶种类;03;

    ;ASML光刻机的核心技术解析;

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