第十五章电子探针显微分析.pptVIP

*第1页，共32页，星期日，2025年，2月5日电子探针是在电子光学和X射线光谱学原理基础上发展的一种高效率分析仪器电子探针利用探测器接收样品的特征X射线信号，进行微区成分定性与定量分析电子探针整体结构与扫描电镜基本相同，但加速电压较高(最高为50kV)，且束流较大，以便获得足够的过压比和信号强度电子探针兼有形貌观察和成分分析两种功能，其主要功能是微区成分分析。检测X射线的探测器—能谱仪亦可作为附件安装在透射电镜上，而使透射电镜可进行微观组织、晶体结构和化学成分三位一体原位分析第十五章电子探针显微分析第2页，共32页，星期日，2025年，2月5日第十五章电子探针显微分析本章主要内容第一节电子探针仪的结构与工作原理第二节电子探针仪的分析方法及应用第3页，共32页，星期日，2025年，2月5日第一节电子探针仪的结构与工作原理图15-1为电子探针结构示意图，其电子光学系统和真空系统与扫描电镜基本相同电子探针的信号检测系统是X射线谱仪，检测X射线波长的谱仪称波谱仪(WDS)，检测X射线能量的谱仪称能谱仪(EDS)图15-1电子探针的结构示意图第4页，共32页，星期日，2025年，2月5日一、波长分散谱仪(一)工作原理如图15-2所示，在样品内激发的X射线，向样品表面以外的各个方向发射，而每一方向均有不同波长的X射线在样品上方放置一块晶面间距d的晶体，由布拉格定律2dsin?=?可知，在不同的2?方向可检测到不同波长?的X射线，从而实现X射线的分散和检测其检测原理是利用已知晶面间距的分光晶体检测未知波长的X射线但平面分光晶体检测效率非常低图15-2平面分光晶体第一节电子探针仪的结构与工作原理第5页，共32页，星期日，2025年，2月5日二、波长分散谱仪(一)工作原理如图15-3，若将分光晶体进行弹性弯曲，并将射线源S、分光晶体表面和检测窗口D位于同一圆周上，可使衍射束聚焦而提高检测效率，图中虚线圆称罗兰圆或聚焦圆若晶体弯曲半径为聚焦圆半径的2倍，称约翰型聚焦法或半聚焦法；若晶体弯曲半径与聚焦圆半径相等，称约翰逊型聚焦法或全聚焦法目前，新型的波谱仪多采