有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共59页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
阳极退火技术对半导体材料特性的影响研究
目录
文档概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
阳极退火技术基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.1阳极退火技术概念界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.2阳极退火原理及过程分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.3阳极退火设备与工艺参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.4阳极退火对半导体材料作用的微观机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.5不同类型半导体材料的阳极退火特性概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
阳极退火对半导体材料物理特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.1阳极退火对半导体材料晶格结构的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.1.1晶粒尺寸的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.1.2位错密度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.1.3晶格缺陷的演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.2阳极退火对半导体材料电学特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.2.1电阻率的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.2.2载流子浓度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.2.3载流子迁移率的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
3.2.4介电常数的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.3阳极退火对半导体材料光学特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.3.1吸收边的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.3.2发光峰位的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.3.3光致发光强度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
3.4阳极退火对半导体材料力学特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.4.1韧性的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.4.2硬度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.4.3破坏强度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
阳极退火对半导体材料化学特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
4.1阳极退火对半导体材料表面形貌的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
4.1.1表面粗糙度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.1.2表面缺陷的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.2阳极退火对半导体材料表面化学组成的影响．．．．．．．．．．．．．．．．47
4.2.1氧化层厚度的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
4.2.2氧化层成分的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
4.3阳极退火对半导体材料表面能带结构的影响．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.3.1功函数的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
4.3.2表面态的变
文档评论（0）