《热解氮化硼》征求意见稿.pdf

T/XXXXXX—2025

热解氮化硼

1范围

本文件规定了热解氮化硼的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容。

本文件适用于采用化学气相沉积法制备的热解氮化硼制品，包括热解氮化硼涂层、热解氮化硼板材、

热解氮化硼坩埚等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1409测量电气绝缘材料在工频、音频、高频（包括米波波长在内）下电容率和介质损耗因数

的推荐方法

GB/T6408超硬磨料立方氮化硼

GB/T6609.3氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法钼蓝光度法测定二氧化硅含量

GB/T13980电离辐射密度计

GB/T19001质量管理体系要求

GB/T22588闪光法测量热导率或热扩散率

GB/T34003氮化硼中杂质元素测定方法

3术语和定义

GB/T5597及YS/T1031界定的及以下术语和定义适用于本文件。

3.1

热解氮化硼pyrolyticboronnitride

通过化学气相沉积法在加热基体表面分解硼和氮的化合物而形成的六方氮化硼晶体，具有高纯度、

高密度、各向异性等特点。

4技术要求

4.1外观质量

热解氮化硼产品表面应平整、光滑，无裂纹、气泡、夹杂等明显缺陷。涂层类产品应均匀附着在基

体表面，无脱落现象。

4.2物理性能

4.2.1密度

热解氮化硼的密度应不低于2.1g/cm³。

4.2.2纯度

热解氮化硼中BN的含量应不低于99.0%，具体杂质含量应符合表1的规定。

表1热解氮化硼杂质含量要求

杂志元素含量（质量分数）/%

3

T/XXXXXX—2025

Fe≤0.01

Na≤0.005

K≤0.005

Ca≤0.005

Mg≤0.005

B2O3≤0.5

4.2.3热导率

在室温（25℃）下，热解氮化硼沿沉积方向的热导率应不低于30W/(m・K)。

4.3化学性能

4.3.1耐酸碱性

热解氮化硼制品在常温下应能耐受浓度≤30%的盐酸、硫酸及氢氧化钠溶液的腐蚀，试验后表面无

明显腐蚀痕迹，性能指标（如密度、纯度）变化幅度应≤5%。

4.3.2高温稳定性

在800℃空气中恒温2h后，热解氮化硼的质量损失率应≤0.5%，且外观无开裂、粉化现象，热导率

保留率应≥90%。

4.4电学性能

4.4.1介电常数

在1MHz频率下，热解氮化硼的介电常数应不大于4.0。

4.4.2介质损耗因数

在1MHz频率下，热解氮化硼的介质损耗因数应不大于0.002。

5试验方法

5.1外观质量检验

采用目视检查的方法，在自然光或等效光源下观察热解氮化硼产品的表面质量，检查是否存在裂纹、

气泡、夹杂等缺陷。涂层类产品还应检查