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面向异质结太阳能电池的氧化铟基靶材研究

一、引言

随着全球对可再生能源的日益关注，太阳能电池已成为当前研究的热点。异质结太阳能电池以其高效率、低成本和长寿命等优点，在光伏领域中占据重要地位。而氧化铟基靶材作为异质结太阳能电池的关键材料，其性能的优劣直接影响到电池的效率和稳定性。因此，对氧化铟基靶材的研究具有重要的理论意义和实际应用价值。

二、氧化铟基靶材的基本性质与作用

氧化铟（In2O3）是一种具有优异光电性能的材料，被广泛应用于太阳能电池的靶材材料中。其基本性质包括高导电性、高透光性以及良好的化学稳定性等。在异质结太阳能电池中，氧化铟基靶材主要起到两个作用：一是作为薄膜沉积的原材料，通过溅

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