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微悬臂梁品质因数调控模块的设计与性能优化研究.docx

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    微悬臂梁品质因数调控模块的设计与性能优化研究

    一、绪论

    1.1研究背景与意义

    微悬臂梁作为一种典型的微机电系统（MEMS）器件，凭借其高灵敏度、小尺寸、低功耗等显著优点，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了当前研究的热点之一。自1986年微悬臂梁作为传感器被应用于原子力显微镜（AFM）的发明后，其在微机电装置、化学和生物传感器等领域的应用特点和潜力逐渐引起了人们的广泛关注，应用范围也日益扩大。

    在生物领域，微悬臂梁可用于生物分子的探测。通过分子吸附导致微悬臂梁结构的挠曲，从而实现对生物分子的检测，为生物医学研究和临床诊断提供了新的手段。例如，在疾病诊断中，利用微悬臂梁对特定生物标

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