《碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体》.pdfVIP

ICS81.060.10SDAMA

CCSQ32

团体标准

T/SDAMA0102025

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碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

HighpuritysiliconcarbidepowderforSiliconcarbideceramicwaferboat

2025-05-30发布2025-05-30实施

山东省新材料产业协会发布

T/SDAMA010—2025

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

1范围

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以

及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T4676普通磨料取样方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T19077粒度分析激光衍射法

GB/T20316.2普通磨料堆积密度的测定

GB/T37254高纯碳化硅微量元素的测定

JB/T6569普通磨料包装

JB/T11433普通磨料密度的测定

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4代号与标记

产品代号由高纯碳化硅粉体H；一般工业用途碳化硅牌号F；碳化硅粒度范围数字组成。标记顺序

为：H-F粒度范围数字。

示例：粒度范围数字为240的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体标记为：H-F240。

5技术要求

5.1化学成分

产品的化学成分应符合表1的规定。

表1化学成分

元素单位含量

SiC%≥99.99

1

T/SDAMA010—2025

Si%≥70.02

C%≥29.96

Femg/kg≤30

Almg/kg≤30

Namg/kg≤10

Mgmg/kg≤10

C