T_ZSA 224—2024(半导体设备前端模块).pdf

ICS31.550

CCSL95

团体标准

T/ZSA224-2024

台

平

息

半导体设备前端模块

信

Equipmentfrontendmodule

准

标

体

团

国

全

2024-04-12发布2024-04-13实施

中关村标准化协会发布

T/ZSA224-2024

目次

前言II

台

引言III

1范围1

2规范性引用文件1

平

3术语和定义1

4缩略语2

5结构及分类2

息

6技术要求3

7试验方法4

8检验规则9

信

9标志、包装、运输及贮存10

准

标

体

团

国

全

I

T/ZSA224-2024

前言台

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中关村标准化协会技术委员会提出并归口管理。平

本文件起草单位：北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微

电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科

（北京）科技有限公司、SMC（中国）有限公司。息

本文件主要起草人：刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福

生、周磊。信