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三氯氢硅的精馏
在三氯氢硅合成工序生成，经合成气干法分别工序分别出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的原料氯硅烷贮槽；在三氯氢硅复原工序生成，经复原尾气干法分别工序分别出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的复原氯硅烷贮槽；在四氯化硅氢化工序生成，经氢化气干法分别工序分别出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的氢化氯硅烷贮槽。原料氯硅烷液体、复原氯硅烷液体和氢化氯硅烷液体分别用泵抽出，送入氯硅烷分别提纯工序的不同精馏塔中。从原料氯硅烷贮槽送来的原料氯硅烷液体经预热器预热后，从中部送入1级精馏塔，进展除去低沸物的精馏操作。塔顶排出不凝气体和局部二氯二氢硅，送往废气处理工序进展处理；
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