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ICS31.200
CCSL55
JSSIA
江苏省半导体行业协会团体标准
T/JSSIA0001—2024
台
平
息
光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评
信
价方法
准
Evaluationmethodforinterfacialadhesionbetweenphotosensitivepolyimidethin
filmsandinterconnectingmetals
标
体
团
国
全
2024-06-05发布2024-06-10实施
江苏省半导体行业协会发布
T/JSSIA0001—2024
目次
前言II
台
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
平
4测试原理1
5试验设备2
6试样2
息
7试验5
8结果分析6
9试验报告7
信
准
标
体
团
国
全
I
T/JSSIA0001—2024
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。台
本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由江苏省半导体行业协会提出并归口。
本文件起草单位：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司、中国科学院微电子研究所、工业
和信息化部电子第五研究所、中国电子科技集团公司第五十八研究所、通富微电子股份有限公司、苏
平
州晶方半导体科技股份有限公司、华天科技（昆山）电子有
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