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三氯氢硅合成原理
三氯氢硅合成系统包括：1，硅粉加料装置，2，三氯氢硅合成炉，3，旋风干法除尘，4，过滤装置，5，STC湿法除尘，6，合成气分别回收〔CDI〕等工序。
硅粉加料装置完成向合成炉连续定量地供给硅粉；三氯氢硅合成炉是生产三氯氢硅的关键设备；旋风干法除尘、过滤装置与STC湿法除尘是回收硅粉和除去合成气的硅尘，CDI是将合成气进展分别回收，它们都是不行或缺的设备。
合成三氯氢硅的原料是硅粉与HCL气体。
原料工业硅简介
工业硅的外观为深灰色与生铁颜色接近，也称硅铁。工业硅的块密度约2.0×103kg/m3，硬度为7，纯度一般为95%～99%，其中的主要杂质为Fe、A
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