STM-100 MF 操作说明书手册 (Engslish).pdf

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SyconInstruments

STM-100/MF

Thickness/RateMonitor

instrumentsSTM-100/MFTHICKNESS/RATEMONITOR

UsersManual

September1997Rev.G

SyconInstruments

6757KinneStreet

EastSyracuse,NewYork13057-1215

Tel(315)463-5297Fax(315)463-5298

Preface

SyconInstruments,Inc.reservestherighttochangeanyinformationcontainedinthismanual

withoutnotice.

©CopyrightSyconInstruments,Inc.1989-1993

IBM®isaRegisteredtrademarkofIBMCorporation

MICROSOFT®isaRegisteredtrademarkofMicrosoftCorporation

SWAGELOK®isaRegisteredtrademarkownedbyCrawfordFittingCompany

BITBUSTMisatrademarkofIntelCorporation

CONFLAT®isaRegisteredtrademarkofVarianAssociates,Inc.

AMPHENOL®isaRegisteredtrademarkofAlliedCorporation

PageiPreface

Warranty

SYCONINSTRUMENTS,INC.

Policy

SyconInstruments,Inc.(Sycon)warrantsthatallelectronicinstrumentationequipment

manufacturedbySyconshallbefreefromdefectsinmaterialsandworkmanshipforaperiod

of2yearsfromdateofshipment.Mechanicalvacuumcomponentssuchasfeedthroughs,

sensors,cables,andshuttersshallbewarrantedforaperiodofsixmonthsfromthedateof

shipment.ForthedurationofthewarrantyperiodSyconwill,atitsoption,eitherrepairor

replaceanypartwhichisdefectiveinmaterialsorworkmanshipwithoutchargetothe

purchaser.Theforegoingshallconstitutetheexclusiveandsoleremedyofthepurchaserfor

anybreachbySyconofthiswarranty.

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