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ICS29.045
H80/84
团体标准
T/ZSA38-2020
台
平
息
SiC晶片的残余应力检测方法
信
ExperimentalmethodforresidualstressinSiCwafers
准
标
体
团
国
全
2020-12-17发布2020-12-18实施
中关村标准化协会发布
T/ZSA38-2020
目次
前言II
1范围1
台
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4测试原理2
5测试仪器3
平
6干扰因素4
7测试环境4
8试样4
息
9测试程序4
10计算5
11精密度5
12测试报告6
信
附录A（资料性附录）材料参数的C的标定7
准
标
体
团
国
全
I
T/ZSA38-2020
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规
则》的规定起草。
请注意
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