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中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年第一季度报告

证券代码：688012证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025年第一季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在过去14年保持营业收入年均增

长大于35%的基础上，2025年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长35.40%，达到21.73

亿元。

公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基

本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司针对先进逻辑和存储器

件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进

存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已

经顺利进入市场，公司开发的薄膜设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设

备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司EPI设备顺利进入

客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件（包括MEMS和传感器、CIS、功

率以及射频器件的超越摩尔器件）客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设

备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。

根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款

新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在

只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大

规模地推出新产品。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%，

研发投入占公司营业收入比例约为31.60%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平

（10%~15%）。

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中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年第一季度报告

公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存

在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息

的真实、准确、完整。

第一季度财务报表是否经审计

□是√否

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币

本报告期比上

项目本报告期上年同期年同期增减变

动幅度(%)

营业收入2,173,278,385.621,605,024,097.6835.40

归属于上市公司股东的净利润313,082,457.72249,135,780.5725.67

归属于上市公司股东的扣除非

298,301,989.05262,948,771.0713.44

经常性损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额376,808,177.47-586,440,411.60不适用

基本每股收益（元/股）0.50