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半导体行业氢资源再生与能源结构转型
目录
内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.1半导体产业发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.2绿色能源转型需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.1.3氢能应用前景展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.1氢能制备技术研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.2氢能存储与运输技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.2.3氢能应用场景分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.3.1研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.3.2研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
半导体行业能源需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.1半导体行业能源消耗特征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.1.1制造工艺能耗分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.1.2厂房运行能耗分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.1.3能源结构现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.2半导体行业碳排放情况．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
2.2.1碳排放来源分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.2.2碳排放量统计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.2.3碳减排压力分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.3半导体行业能源转型需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.3.1绿色能源替代需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.3.2碳中和目标要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
2.3.3供应链安全需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
氢资源再生技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.1氢气制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.1.1电解水制氢技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
3.1.2热分解制氢技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
3.1.3其他制氢技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.2氢气提纯与储存技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
3.2.1氢气提纯技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.2.2氢气储存技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
氢能源在半导体行业的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.1氢能源在半导体制造中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
4.1.1氢能替代化石燃料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
4.1.2氢能用于工艺气体生产．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
4.1.3氢能用于设备清洗与维护．．．．．．．．．．．．
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