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A
1stlevelpackaging第一级封装
2ndlevelpackaging第二级封装
aberration象差/色差
absorption吸收
accelerationcoumn加速管
acceptor受主
Accumuatev.积聚,堆积
acid酸
acousticstreaming声学流
activeregion有源区
activate激活
activateddopant激活杂质
activecomponent有源器件
adsorption吸附
aerosol悬浮颗粒
airionizer空气电离化器
aignmentmark对准标记
aignment对准
alloy合金
alternateadj.交替的，轮流的，预备的v.交替,
轮流，改变
aluminum铝
aluminumsubtractiveprocess铝刻蚀工艺
ambient环境
ammonia(NH3)氨气
ammonium刊uoride(NH4F)氟化氨
ammoniumhydroxide(NH40H)氢氧化氨
amorphous非晶的，无定型
analog模拟信号
angstrom埃
anion阴离子
anisotropicetchprofie各向异性刻蚀剖面
anneal
antimony(sb)铺
antireectivecoating(ARC)抗反射涂层
APCVD常压化学气向淀积
applicationspecificC(ASC)专用集成电路
aqueoussolution水溶液
areaarray面阵列
argon(Ar)n.［化］氯
arsenic(As)确
arsine(AsH3)碑化氢，神烷
ashing灰化，去胶
aspectratio深宽比，高宽比
aspectratiodependentetching(ARDE)与刻蚀相关
的深宽比
asphyxiant窒息剂
assaynumber检定数
atmosphericadj.大气的
atmosphericpressure大气压
atmosphericpressureCVD(APCVD)常压化学气向淀积
atomicforcemicroscopy(AFM)原子力显微镜
atomicnumber原子序数
attemptn.努力，尝试，企图vt.尝试，企图
augerelectronspectroscopy(AES)俄歇电子能谱仪
autodoping自掺杂
automaticdefectcassification(ADC)缺陷自动分
类
B
back-endofine(BEOL)(生产线)后端工序
backgrind减薄
backingfim背膜
bafflevt.
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