GB/T 44928-2024微电子学微光刻技术术语.pdf

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

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GBT449282024

微电子学微光刻技术术语

Termsofmicrolithorahtechnoloformicroelectronics

gpygy

2024-12-31发布2024-12-31实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT449282024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1微电子学光刻技术…………………1

3.2先进光刻技术………………………11

3.3微光刻图形化和图形数据处理技术………………47

、………………

3.4微光刻感光材料铬板与基板材料55

3.5光掩模技术…………………………60

(、)………

3.6光刻工艺曝光蚀刻与微纳米加工技术63

3.7电子束掩模制造与直写技术………………………84

3.8光刻及掩模质量参数测量和评定…………………89

3.9掩模制造设备和微光刻设备……………………100

索引…………………………132

Ⅰ

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前言

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