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操千曲尔后晓声，观千剑尔后识器。——刘勰

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标题洁净室（区）悬浮粒子的质量标准与检验规程

编号STP-QQ-704版本Ⅰ页数共4页

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目的:明确洁净室（区）悬浮粒子质量标准，规范洁净室（区）悬浮粒子检验方法。

适用范围：洁净室（区）悬浮粒子的检验。

责任者：化验员。

1.洁净室（区）悬浮粒子限度（测定标准）

尘粒最大允许数/立方米

洁净度级别测定频次

≥0.5um≥5um

300000级600001次/季

2.测试方法：

2.1方法提要

本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气不含大于或等于

某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区）的悬浮粒子洁净度等级。

2.2仪器

2.2.1光散射粒子计数器（用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数）；

2.2.2滤膜显微镜（用于粒径大于或等于5μm的悬浮粒子计数）。

2.2.3光散射粒子计数器使用要点。

2.2.3.1使用仪器时应严格按照仪器说明书操作。

2.2.3.2仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。

2.2.3.3采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。

2.2.3.4采样管必须干净，严禁渗漏。

2.2.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。

2.2.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误

差。

2.2.3.7必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。

3.测试规则。

3.1测试条件。

3.1.1温度和湿度。

操千曲尔后晓声，观千剑尔后识器。——刘勰

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洁净室（区）的温度和相对湿度应与及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，

相对湿度控制在45%～60%之间为宜）。

3.1.2压差

空气洁净度不同洁净室（区）之间的压差应≥5MPa，空气洁净度级别要求高的洁净

室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。

3.2测试状态。

有静态测试和动态测试。

静态测试时，室内测试人员不得多于