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- 2025-01-02 发布于四川
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- | 2024-11-28 颁布
- | 2024-11-28 实施
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ICS
31.080.99
CCS
L59
中华人民共和国国家标准
GB/T44919—2024/IEC62047﹘17:2015
微机电系统(MEMS)技术
薄膜力学性能的鼓胀试验方法
Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology—
Bulgetestmethodformeasuringmechanical
propertiesofthinfilms
(IEC62047-17:2015,Semiconductordevices—Micro-electromechanical
devices—Part17:Bulgetestmethodformeasuring
mechanicalpropertiesofthinfilms,IDT)
2024-11-28发布2024-11-28实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
GB/T44919—2024/IEC62047﹘17:2015
目次
1
范围
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2
规范性引用文件
1
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