GB/T 44513-2024微机电系统(MEMS)技术　传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法.pdf

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

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GBT445132024IEC62047-372020

微机电系统()技术传感器用

MEMS

MEMS压电薄膜的环境试验方法

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IEC62047-372020SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

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2024-09-29发布2025-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT445132024IEC62047-372020

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验流程…………………1

4.1总则…………………1

4.2初始测量……………2

4.3试验…………………2

4.4后处理………………2

4.5最终测量……………3

5环境和介质耐电压试验…………………3

5.1环境试验…………