高灵敏太赫兹微流通道传感器及其制备方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN103499534A

(43)申请公布日2014.01.08

(21)申请号CN201310316628.8

(22)申请日2013.07.25

(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址215123江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号

(72)发明人陈沁孙福河

(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人王锋

(51)Int.CI

G01N21/31

B81B3/00

B81C1/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

高灵敏太赫兹微流通道传感器及其

制备方法

(57)摘要

本发明提供了一种高灵敏太赫兹微

流通道传感器及其制备方法。该传感器包

括衬底和盖层，衬底和盖层上分别设有金

属平面反射镜和金属微结构层，金属平面

反射镜与金属微结构层之间形成有微流通

道，且当微流通道内存有被测液体时，金

属微结构层、被测液体和金属平面反射镜

形成的复合结构在太赫兹波段内具有共振

引起的强吸收特性；该方法包括：分别在

衬底和盖层上加工形成金属平面反射镜和

金属微结构层，其后将衬底与盖层固定连

接，并使衬底与盖层之间形成封闭微流通

道，而后在衬底和/或盖层上设置与微流通

道连通的通孔，形成用以向传感器内输入

输出被测液体的液流通道。本发明传感器

结构简单，易于加工和使用，且探测灵敏

度较之现有传感器有大幅提升。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在于，包括衬底和至

少一盖层，所述衬底上设有金属平面反射镜，所述盖层上设有金属

微结构层，所述金属平面反射镜与金属微结构层之间形成有至少一

用于被测液体流通的微流通道，并且，当所述微流通道内存有被测

液体时，主要由所述金属微结构层、被测液体和金属平面反射镜组

合形成的复合结构在太赫兹波段内具有共振引起的强吸收特性。

2.根据权利要求1所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在

于，它包括沿垂直于微流通道平面方向依次分布的两个以上盖层，

其中任一盖层朝向平面反射镜的面上均设有金属微结构层，所述金

属平面反射镜与相邻金属微结构层之间以及相邻盖层之间均形成

有微流通道，并且这些微流通道相互连通。

3.根据权利要求2所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在

于，这些微流通道沿垂直于微流通道平面的方向依次连通。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，

其特征在于，所述金属微结构层包括附着在