2024版KLA缺陷检查培训PPT课件 .pdfVIP

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第1页

KLA缺陷检查培训

PPT课件

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第1页

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第2页

•缺陷检查概述

•缺陷检查方法与技巧

•常见缺陷类型及案例分析

目•缺陷识别与评估标准

•缺陷处理流程与改进措施

录•培训总结与展望

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第2页

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第3页

01

缺陷检查概述

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第3页

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第4页

缺陷定义与分类

缺陷定义

在半导体制造过程中，由于各种原

因导致的芯片上不符合设计规格或

性能要求的问题。

缺陷分类

根据缺陷的性质和影响程度，可分

为致命缺陷、严重缺陷、一般缺陷

和轻微缺陷等。

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第4页

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第5页

缺陷检查重要性

010203

保证产品质量提高生产效率优化工艺流程

通过缺陷检查，及时发现有效的缺陷检查可以避免通过对缺陷的分析，可以

并处理芯片上的缺陷，确不必要的返工和报废，提找出制造过程中的问题，

保产品质量符合客户要求。高生产效率和降低成本。优化工艺流程，提升产品

良率和可靠性。

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第5页

2024版KLA缺陷检查培训PPT课件--第6页

KLA公司及其产品介绍

KLA公司简介KLA技术优势

KLA公司是全球领先的半导体制造设高分辨率、高灵敏度、高速度、高自

备供应商之一，专注于提供先进的缺动化等，能够满足客户对于缺陷检查

陷检查、量测和分析解决方案。