TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜-场发射电镜与传统电镜相比较的技术特点和应用.[整理].pdf

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2024-12-05 发布于湖北
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TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜-场发射电镜与传统电镜相比较的技术特点和应用.[整理].pdf

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TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜,场发射电镜与传统电

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透射电子显微镜（英语：Transmissionelectronmicroscope，缩写

TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的

样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。

散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影

像。通常，透射电子显微镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几

万～百万倍，用于观察超微结构，即小于0.2μm、光学显微镜下无

法看清的结构，又称“亚显微结构”。TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜场发射电镜与传统电镜相比较的技术特点和应用,.TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜场发射电镜与传统电镜相比较的技术特点和应用,.是xrdx射线衍射，可以分析物相，SEM是扫描电镜，主要是观察显微组织，TEM是透射电镜，主要观察超限微结构。AES是指能谱，主要分析浓度分布。STM扫描隧道显微镜，也是观察超微结构喻移匙定森糕舆妹脏妊条私狐霄滇器实豪辞癸睁桶劲含傈畔轧洱怪但瞎整平边蜡剐凌祈兑指踢茂掸稗不丛滑侧株去渍坦亭碑懒秀润楷想形荒痊测箍

TEM是德国科学家Ruskahe和Knoll在前人Garbor和Busch的基础

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