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《压电陶瓷驱动平台的迟滞补偿控制方法研究》

摘要：

随着精密微位移技术的发展，压电陶瓷驱动平台在诸多领域如精密加工、微纳操作、生物医学等展现出重要作用。然而，由于压电陶瓷驱动平台存在迟滞非线性特性，其控制精度和稳定性受到一定影响。本文针对压电陶瓷驱动平台的迟滞问题，提出了一种有效的补偿控制方法，旨在提高其控制精度和稳定性。

一、引言

压电陶瓷驱动平台因其高精度、高分辨率的位移输出能力，在精密工程领域得到了广泛应用。然而，其迟滞非线性特性是影响其性能的主要因素之一。迟滞现象会导致系统响应速度慢、输出不稳定，甚至可能引起系统失控。因此，研究压电陶瓷驱动平台的迟滞补偿控制方法具有重要的理论意义和实际