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江西赛维LDK太阳能高科技有限公司文件编号
单晶炉热场清洁与安装作业版本/生效第-1-页共
指导书版次日期页6页
一、目的：
清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。
二、范围：
单晶炉的热场的清扫和安装。
三、职责：班长负责当班期间组织生产，组长监督工艺操作人员对热场的安全安装。
四、作业内容：
4.1、热场的清洁：
4.1.1工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；
4.1.2所用物品必须洁净、摆放整齐。物品的齐全及整齐摆放能减少不必要的时间浪费；
4.1.3、内容：
4.1.3.1清炉时须戴好口罩和帽子，穿好工作服
4.1.3.2用吸尘设备吸去附在副室、炉盖筒壁上的氧化物并用丝光毛巾蘸少许无水乙醇擦
净，最后用无尘纸蘸少许无水乙醇擦一遍。
4.1.3.3取出埚底硅料
4.1.3.3.1戴好耐高温手套和准备好钳子；
4.1.3.3.2用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；
4.1.3.3.2戴好耐高温手套将石英坩埚和埚底料全部带出放入不锈钢小车上；
4.1.3.3.3用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小
心取埚底料，应避免埚底从热场的缝隙掉下杂物；
4.1.3.3.4待石英坩埚和埚底料冷却后，放入指定的箱子并做好编号
4.1.3.4按一定顺序取出热场的石墨器件，顺序如下：导流筒→热屏支撑环→上保温罩
→三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→石墨中轴→加热器→下保温罩和底盘（如下图）
→→→
取导流筒取热屏支撑环取上保温罩取三瓣埚
→→→→
取坩埚底盘取中保温罩取石墨中轴取加热器
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江西赛维LDK太阳能高科技有限公司文件编号
单晶炉热场清洁与安装作业版本/生效第-2-页共
指导书版次日期页6页
→→
取下保温罩和底盘
4.1.3.5用吸尘设备清洁石墨器件：
4.1.3.5.1待石墨器件冷却后，用吸尘设备吸去石墨器件上的氧化物。沟槽及接口等吸附挥
发物较多的部位要用砂布认真打磨。
4.1.3.5.2清洁加热器时先用氧化铝砂布打磨加热器的内外表面及夹缝的氧化物。（见下图）
打磨夹缝打磨外表面
4.1.3.5.3检查石墨器件上是否有硅蒸气沉积引起的凸出物，如有用
打磨机去除，并用吸尘设备清除干净。
4.1.3.6检查石墨器件有无缺损、裂缝及使用的炉数，
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