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《压电陶瓷迟滞非线性补偿控制方法研究》

一、引言

随着微电子机械系统（MEMS）的快速发展，压电陶瓷（PZT）作为其重要组成部分，在精密定位、微驱动等领域得到了广泛应用。然而，压电陶瓷的非线性迟滞效应（NLE，即nonlinearityhysteresiseffect）问题在影响系统稳定性的同时，也给精密控制和精确定位带来了不小的挑战。因此，对压电陶瓷的迟滞非线性补偿控制方法进行研究，对于提高系统的性能和稳定性具有重要意义。

二、压电陶瓷迟滞非线性特性分析

压电陶瓷的迟滞非线性特性主要表现在其输入电压与输出位移之间存在复杂的非线性关系，且这种关系具有明显的迟滞现象。这种迟滞非线性不仅导致系