Process Control软件：Lam Research二次开发_（5）.工艺控制算法与模型.docx

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工艺控制算法与模型

在工艺控制软件中，算法与模型是实现高效、精确控制的关键。本节将详细介绍工艺控制中常用的算法和模型，包括PID控制、模型预测控制（MPC）、自适应控制等。我们将通过具体的例子来说明这些算法和模型的原理和应用，以便读者能够更好地理解和掌握。

PID控制

PID（比例-积分-微分）控制是一种广泛应用于工业控制系统中的反馈控制算法。它通过比例、积分和微分三个部分来调整控制输出，以实现对工艺参数的精确控制。

原理

PID控制器的输出ut

比例部分（P）：与当前误差et

积分部分（I）：与误差的累积值成正比。

微分部分（D）：与误差的变化