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KLA软件架构与工作原理

1.软件架构概述

KLA软件是一种专门用于半导体制造过程中的缺陷检测与分析的工业软件。其架构设计旨在提供高效、准确且可扩展的解决方案，以满足半导体制造过程中对质量和产量的严格要求。KLA软件的架构可以分为以下几个主要部分：

1.1数据采集模块

数据采集模块负责从各种检测设备中收集数据。这些设备包括光学检测设备、电子束检测设备、X射线检测设备等。数据采集模块通过标准的通信协议（如SECS/GEM）与设备进行交互，确保数据的实时性和准确性。

1.1.1数据采集流程

初始化连接：数据采集模块首先需要与检测设备建立连接。这通常通过