FAB软件：Applied Materials二次开发_（7）.工艺流程管理.docx

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工艺流程管理

工艺流程的概念

工艺流程管理是FAB软件中的一个核心模块，主要用于管理和优化半导体制造过程中的各个步骤。在半导体制造中，工艺流程通常包括多个阶段，如光刻、沉积、蚀刻、扩散、离子注入等。每个阶段又包含多个具体的工艺步骤，这些步骤需要按照特定的顺序和条件进行，以确保最终产品的质量和性能。

工艺流程管理不仅仅是记录和跟踪这些步骤，还包括对工艺参数的控制、对设备状态的监控、对工艺结果的分析和优化。通过有效的工艺流程管理，可以提高生产效率、减少工艺缺陷、降低生产成本，从而提升企业的竞争力。

工艺流程的组成

工艺流程通常由以下几个部分组成：

工艺步骤：