WNS-系列12寸金相观察显微镜说明书用户手册.pdf

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12寸金相观察显微镜WNS-12DS

半导休-芯片-晶圆-LCD-LED等行业广泛应用)Z轴电脉高精度设计,最小移动精度可

达0.1~1um,保证高倍率稳定对焦

1.产品介绍

◆WNS-12DS金相观察显微镜专为12寸晶圆观察检测量身订做,本机Z轴对焦采用手

脉电控上下,独家使用专业订制的高精准细分脉冲金相测量电机,通过设置多种脉冲

细分量和机构上的精准调校,可以实现快上、快下及中慢档调速来控制Z轴光学镜头

上下移动,并且Z轴可以选配光栅数据和辅助对焦测高模块,大大提高设

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