金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究.doc

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2024-10-31 发布于广东
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金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究.doc

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金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究

摘要

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论文题目：金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究

摘要

金刚石线切割单晶硅片技术是采用固着金刚石颗粒的钢线代替普通钢线和砂浆对单晶硅进行切割的新型切片技术。与传统的砂浆切割技术相比，它具有切割速率快、对环境较友好以及切割锯屑易回收等优势。但业界反映现行的制绒工艺对金刚石切割的单晶硅片制绒效果不佳，减反射率不高以及表面切割损伤去除难度大，以致下游生产的单晶硅太阳能电池光电转化效率低。本文针对这一问题开展实验研究。

以厚，大的金刚石切断单晶硅晶片为研究对象在0.76wt%KOH、4wt%IPA（异丙醇），1.9wt%KOH、4.7