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论文题目非晶碳薄膜的制备与光电性能研究
摘要
非晶碳薄膜在未来几年的应用会非常广泛，将会应用到各个领域，例如应用在阻变存储器中，由于其优异的器件性能极有可能成为下一代非易失性存储器。对纳米非晶碳薄膜的物理化学等诸多方面的性能做研究，探究纳米薄膜的场发射特性以及在新型材料中的应用。在该领域的发展和科学的进步有着重大的意。非晶碳薄膜主要是由两种碳原子相互混杂而成的三维立体的网状结构，化学性质极其稳定，硬度高，耐腐蚀，摩擦系数非常小。然而传统的制备方法很难实现对薄性能与结构的调节。
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