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化学气相沉积设备项目绩效评估报告.docx

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    化学气相沉积设备项目绩效评估报告

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    化学气相沉积设备项目绩效评估报告

    目录

    TOC\h\z7360前言 3

    18384一、建筑技术方案说明 3

    22890(一)、化学气相沉积设备项目工程设计总体要求 3

    9841(二)、建设方案 3

    19273(三)、建筑工程建设指标 5

    17573二、化学气相沉积设备项目规划进度 5

    15832(一)、化学气相沉积设备项目进度安排 5

    2967(二)、化学气相沉积设备项目实施保障措施 7

    31430(三)、质量与安全控制 7

    22180(四)、化学气相沉积设备项目进度监控与调整

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