物理气相沉积技术-课件.pptVIP

物理气相沉积技术

（PhysicalVaporDeposition,PVD);;精品资料;

你怎么称呼老师？

如果老师最后没有总结一节课的重点的难点，你是否会认为老师的教学方法需要改进？

你所经历的课堂，是讲座式还是讨论式？

教师的教鞭

“不怕太阳晒，也不怕那风雨狂，只怕先生骂我笨，没有学问无颜见爹娘……”

“太阳当空照，花儿对我笑，小鸟说早早早……”;一.物理气相沉积技术的概念;二.物理气相沉积技术的基本过程;PVD的物理原理;三.物理气相沉积技术的分类;四.蒸发镀膜;;根据加热原理（或加热方式）分有：电阻加热蒸发、电子束蒸发、激光熔融蒸发、射频加热蒸发

;电阻加热蒸发;;;电子束蒸发;电子束蒸发;;;激光熔融蒸发;;五.溅射镀膜

1.溅射的概念;;;;;;;;;;

2.溅射镀膜的特点(相比较真空蒸发)

;;

3.溅射镀膜的缺点

;三、溅射方法;

1).直流溅射

;;

2).射频溅射

;;实现了对绝缘材料的溅射;;;;

3).磁控溅射

;;;;;六.离子镀;PVD薄膜沉积各种方式的比较

?真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀的比较