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SQDL平台多靶材溅射仪非磁性金属镀膜操作规程（SOP).pdf

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    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP

    PVD1磁控溅射系统（MagnetronSputteringSystem）

    sop编写人员：张祁莲

    版本：v1

    目录

    1.0设备、工艺概述ProcessSummary1

    2.0交叉污染控制cro

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