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MEMS技术与器件考核试卷

考生姓名：__________答题日期：__________得分：__________判卷人：__________

一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.MEMS是以下哪项技术的缩写？（）

A.MicroElectricalMechanicalSystem

B.MacroElectricalMechanicalSystem

C.MiniElectricalMechanicalSystem

D.MegaElectricalMechanicalSystem

2.下列哪个不是MEMS技术的特点？（）

A.尺寸小

B.成本高

C.集成度高

D.可批量生产

3.MEMS传感器通常采用哪种加工技术？（）

A.硅微加工

B.锂电池加工

C.塑料加工

D.铜加工

4.下列哪种MEMS器件属于微执行器？（）

A.微加速度计

B.微压力传感器

C.微泵

D.微麦克风

5.MEMS器件在以下哪个领域应用广泛？（）

A.医疗器械

B.航天航空

C.消费电子

D.所有以上领域

6.下列哪种材料不适合用于MEMS器件的制造？（）

A.硅

B.玻璃

C.铜

D.塑料

7.MEMS技术的核心在于？（）

A.设备小型化

B.设备高度集成

C.设备批量生产

D.设备多功能化

8.下列哪种MEMS器件主要用于测量角度变化？（）

A.微加速度计

B.微陀螺仪

C.微压力传感器

D.微温度传感器

9.MEMS技术在制造过程中通常采用以下哪种技术进行图形转移？（）

A.光刻

B.化学腐蚀

C.离子刻蚀

D.电子束刻蚀

10.下列哪个不是MEMS器件的优点？（）

A.体积小

B.重量轻

C.成本高

D.功耗低

11.MEMS器件在汽车行业的主要应用是什么？（）

A.车辆导航

B.车辆安全

C.车辆娱乐系统

D.所有以上应用

12.下列哪种MEMS传感器主要用于测量流体压力？（）

A.微加速度计

B.微压力传感器

C.微流量传感器

D.微湿度传感器

13.MEMS技术中，哪种加工技术可以实现高深宽比的结构？（）

A.光刻

B.干法刻蚀

C.湿法刻蚀

D.离子注入

14.下列哪种MEMS器件可以用于无线通信系统？（）

A.微加速度计

B.微麦克风

C.微天线

D.微温度传感器

15.MEMS器件在生物医学领域主要用于以下哪个方面？（）

A.诊断

B.治疗药物输送

C.手术辅助

D.所有以上方面

16.下列哪个不是MEMS器件的典型应用？（）

A.智能手机

B.航空航天

C.医疗设备

D.纺织品

17.MEMS技术中，哪种材料具有较好的生物相容性？（）

A.硅

B.玻璃

C.聚合物

D.金属

18.下列哪种MEMS传感器主要用于测量物体的运动状态？（）

A.微压力传感器

B.微流量传感器

C.微加速度计

D.微湿度传感器

19.MEMS器件在环境监测方面的应用是什么？（）

A.空气质量监测

B.水质监测

C.温度湿度监测

D.所有以上应用

20.下列哪种技术不是MEMS加工技术的常用方法？（）

A.光刻

B.蚀刻

C.镀膜

D.射频加工

二、多选题（本题共20小题，每小题1.5分，共30分，在每小题给出的四个选项中，至少有一项是符合题目要求的）

1.MEMS技术的特点包括以下哪些？（）

A.尺寸小

B.重量轻

C.成本低

D.功耗高

2.以下哪些是MEMS器件常用的加工材料？（）

A.硅

B.玻璃

C.塑料

D.铜

3.MEMS传感器可以用于以下哪些领域？（）

A.汽车行业

B.生物医学

C.航天航空

D.环境监测

4.以下哪些是MEMS执行器的应用？（）

A.自动调焦镜头

B.微型泵

C.微型阀门

D.微型电机

5.以下哪些技术常用于MEMS的表面加工？（）

A.光刻

B.蚀刻

C.镀膜

D.离子注入

6.MEMS技术在医疗领域可以用于以下哪些方面？（）

A.手术器械

B.药物输送

C.诊断传感器

D.内窥镜

7.以下哪些是MEMS器件的优点？（）

A.可靠性高

B.响应速度快

C.易于集成

D.成本低廉

8.以下哪些加工技术适用于MEMS器件的制造？（）

A.湿法蚀刻

B.干法蚀刻

C.化学气相沉积

D.等离子体刻蚀

9.MEMS器件在消费电子领域的应用包括以下哪些