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微纳机器人科学与技术发展现状与趋势
目录
一、内容概览................................................4
1.1微纳技术的定义与范围.................................5
1.2微纳机器人技术的重要性...............................6
二、微纳机器人科学与技术的发展历程..........................7
2.1国际微纳机器人技术的发展.............................8
2.1.1国际微纳机器人技术的研究起点.....................9
2.1.2国际微纳机器人技术的关键转折点..................11
2.1.3国际微纳机器人技术的重大成果....................11
2.2国内微纳机器人技术的发展............................13
2.2.1国内微纳机器人技术的研究起点....................14
2.2.2国内微纳机器人技术的关键转折点..................15
2.2.3国内微纳机器人技术的重大成果....................16
三、微纳机器人的分类与结构.................................18
3.1微纳机器人的分类....................................19
3.1.1按照应用领域分类................................20
3.1.2按照驱动方式分类................................21
3.1.3按照结构特点分类................................23
3.2微纳机器人的结构....................................24
3.2.1微纳机器人的材料选择............................25
3.2.2微纳机器人的结构设计............................26
3.2.3微纳机器人的性能优化............................27
四、微纳机器人科学与技术的关键技术.........................29
4.1微纳制造技术........................................30
4.1.1光刻技术........................................32
4.1.2刻蚀技术........................................33
4.1.3薄膜沉积技术....................................34
4.2微纳控制技术........................................35
4.2.1电磁控制技术....................................37
4.2.2光学控制技术....................................38
4.2.3热控制技术......................................39
4.3微纳感知与交互技术..................................40
4.3.1传感器技术......................................41
4.3.2信号处理技术....................................42
4.3.3人机交互技术....................................43
五、微纳机器人科学与技术的应用领域.........................44
5.1医疗健康领域........................................45
5.1.1微创手术........................................47
5.1.2药物输送........................................48
5.1.3
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