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GB/T 44375-2024300 mm半导体设备装载端口要求.pdf

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  • 2024-09-30 发布于四川
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  •   |  2024-08-23 颁布
  •   |  2025-03-01 实施

GB/T 44375-2024300 mm半导体设备装载端口要求.pdf

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    GB/T44375—2024

    300mm半导体设备装载端口要求

    Requirementsforloadportsof300mmsemiconductorequipment

    2024-08-23发布2025-03-01实施

    国家市场监督管理总局

    发布

    国家标准化管理委员会

    GB/T44375—2024

    目次

    前言

    Ⅲ

    ·····································································································

    1

    范围

    1

    ··································································································

    2

    规范性引用文件

    1

    ······················································································

    3

    术语和定义

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